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 (5)PID参数自整定[4]界面。根据工艺的温度要求,选择整定温度,系统开始对炉体加温并开始自整定过程,实现PID参数的整定。   3。2 模糊自整定PID控制算法设计[5][6]   PLC作为系统的核心,完成各种信息的检测、处理,控制算法的实现,控制量的输出等。系统实现控制包括:对扩散炉九点温度的工艺控制;对气体流量工艺过程的控制;对扩散炉生产工艺的自动化过程控制。其中对温度的控制是至关重要的,控制效果的好坏直接决定着半导体扩散的质量。本系统采用模糊自整定PID控制算法实现对温度的控制。   模糊推理控制算法程序的流程图如图2所示。计算时有以下几个步骤:   (1)确定误差和误差变化率以及控制量的论域,将和的实际变化范围分为7档(考虑本控制系统要求控制精度较高),使每一档与其论域的某个元素相对应。这样,系统的每个实测量就可以被量化为论域中的某个元素。   (2)本系统通过离线计算出模糊控制表,实际运行时,PLC主程序中断执行查表子程序就可以得出控制量。 图2 模糊推理子程序   在现场的控制中,模糊自整定PID控制器的鲁棒性强,参数自整定易于实现,控制的精度较高。比单纯的PID控制器具有更快的动态响应特性,其控温效果较好。   3。3 Modbus通信程序设计   系统采用Modbus现场总线实现PLC主站与温度检测模块、气体质量流量计等各从站之间的通信。FERAG 567.834V007 SDB/KX008.5 567.836.012


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